高精度。各种尺寸,图形订制。材质包含:玻璃、石英、陶瓷、菲林、相纸、金属基材可选。
玻璃标定板-光刻工艺,标准精度单个图案物理误差在1μm以内,相邻图案物理误差±1μm。
陶瓷标定板-漫反射,杜绝反光,单个图案精度物理误差在1μm以内,相邻图案物理误差±1μm。
主要特点
国际通用的测试基准。
Halcon 标定板标准规格:
Halcan
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CHG-038-3.0 |
外形尺寸38*38;有边框图形尺寸25.6*25.6; 圆点直径1.5;圆点中心距3.0 |
CHG-050-4.0 |
外形尺寸50*50;有边框图形尺寸34*34; 圆点直径2.0;圆点中心距4.0 |
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CHG-076-6.0 |
外形尺寸76*76;有边框图形尺寸51*51; 圆点直径3.0;圆点中心距6.0 |
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CHG-100-8.0 |
外形尺寸100*100;有边框图形尺寸68*68; 圆点直径4.0;圆点中心距8.0 |